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聚焦离子束(FIB)在成分分析中的应用
发布时间:2020-01-17 | 信息来源:深圳市启威测标准技术服务有限公司
聚焦离子束工作原理:
聚焦离子束显微镜(FIB)的利用镓(Ga)金属作为离子源,再加上负电场 (Extractor) 牵引尖端细小的镓原子,而导出镓离子束再以电透镜聚焦,经过一连串可变孔径光阑,决定离子束的大小,再经过二次聚焦以很小的束斑轰击样品表面,利用物理碰撞来进行特定图案的加工,一般单粒子束的FIB(Single Beam FIB),可以提供材料切割、沉积金属、蚀刻金属和选择性蚀刻氧化层等功能。若结合场发射式电子显微镜进行实时观测,即所谓的双粒子束FIB(Dual Beam FIB) 。
聚焦离子束应用:
(1) 形貌和成分分析:FIB可以对纳米颗粒材料表面进行形貌观察,还可以在特定位置作截面断层,直观的进行材料的截面结构形态的定点分析,观察结构是否存在缺陷等异常。
(2) 制备TEM、3DAP、EBSD样品:FIB因其样品制备精度高、速度快已经成为特殊样品制备、精细结构加工的重要方法。其中制备TEM截面样品就是其中重要用途。FIB制备的TEM样品厚度在100nm以下,且成功率很高,所以经常用来制备薄膜、陶瓷等块体的TEM样品。此外,电子束无法穿透的微米级颗粒,也可用FIB制备一个薄截面样品再进行TEM测试。
(3) 三维表征技术(FIB-HIM): 在扫描电镜中可以获得观察区域的表面形貌、化学成分、晶体取向等信息。三维重构(3D)允许从各个角度观察样品,尤其当样品中有一些网络结构,不同的相交织在一起,利用FIB三维成像可将它们内部的网络结构清晰的表征出来,甚至重构样品里小缺陷(<100nm)的三维形状和尺寸。
成分分析 深圳形貌和成分分析 启威测检测
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