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无机异物分析
发布时间:2019-11-20 | 信息来源:深圳市启威测标准技术服务有限公司
无机异物分析是指针对产品表面的无机异物,根据异物的形态、检测深度及检测面积等差异而选用特定的仪器,对其无机成分进行分析,测定其中元素成分及含量,进而分析组成的一种分析方法。相较与有机异物,无机异物则表现出质地更硬,色泽更深,且较不透光等特点。
无机异物的分析手段主要有以下几种:
分析手段 分析范围 分析内容 测试标准 扫描电镜/X射线能谱(SEM/EDS)
表面微观形貌观察;微米级尺寸量测;微区成分分析;污染物分析
能快速的对各种试样的微区内Be~U的大部分元素进行定性、定量分析,分析时间短
JY/T 010-1996GB/T 17359-2012俄歇电子能谱仪AES 缺陷分析;颗粒分析;深度剖面分析;薄膜成分分析
可以作表面微区的分析,并且可以从荧光屏上直接获得俄歇元素像
GB/T 26533-2011
X射线光电子能谱仪XPS 有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析;表面成分及化学状态信息;深度剖面分析
分析层薄,分析元素广,可以分析样品表面1-12nm的元素和元素含量
GB/T 30704-2014
飞行时间二次离子质谱分析(TOF-SIMS)
有机材料和无机材料的表面微量分析;表面离子成像;深度剖面分
优异的掺杂剂和杂质检测灵敏度可以检测到ppm或更低的浓度;深度剖析具有良好的检测限制和深度辨析率;小面积分析
ASTM E1078-2009
ASTM E1504-2011
ASTM E1829-2009
动态二次离子质谱分析(D-SIMS)
产品表面微小的异物分析;氧化膜厚度分析;掺杂元素的含量测定
分析区域小,能分析≥10μm直径的异物成分;分析深度浅,可测量≥1nm样品;检出限高,一般是ppm-ppb级别
ASTM E1078-2009
ASTM E1504-2011
ASTM E1829-2009
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