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扫描电子显微镜/X射线能谱(SEM/EDS)
发布时间:2019-10-24 | 信息来源:深圳市启威测标准技术服务有限公司
工作原理:
扫描电镜(Scanning Electron Microscope ,简称SEM)利用电子束打在样品表面逐点扫描,与样品作用产生各种信号,这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号,最后在显示屏上反映样品表面各种特征的像,且有强烈的立体感。能谱仪(Energy Dispersive Spectrometer,简称EDS)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。
SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称,两者组合使用,功能非常强大,既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析,在各类分析工作中被广泛运用。
应用范围:
涉及的行业领域十分广泛,如材料、电子、航空、汽车地学、冶金、机械加工、半导体制造、陶瓷品等
SEM结构示意图
案例分析:
一、在金属材料领域的应用
(1) 金属材料断裂失效分析。常见以磨损、腐蚀、断裂、变形等失效形式存在。通过对断口微观形貌的观察,根据脆性断裂及韧性断裂机理,结合材料受力状态分析,找出失效根源。
(2) 金属材料的表面缺陷分析。常见缺陷以起泡、翘皮、裂纹等形式存在。利用扫描电子显微镜对金属表面或界面的薄层进行组分、结构和能态等分析,揭示金属材料及其制品的表面形貌、成分、结构或状态。
(3) 金属材料的微区化学成分分析。分析表面形貌及微区成分,为失效机理推断提供定性定量依据。
二、在非金属材料领域的应用
(1) 材料的表面形貌观察
通过扫描电子显微镜观察材料表面形貌。观察的主要内容是分析材料的几何形貌、材料的颗粒度及颗粒度的分布、物相的结构等。
(2) 涂镀层表面形貌分析与镀层厚度测量
(3) 材料的微区化学成分分析。常与EDS(X射线能谱仪)联用,对材料进行定性半定量分析。
(4) 扫描电子显微镜分辨率可达纳米级别,可对纳米材料进行观察。
简 介 启威测是一家专注于电子产品及材料研发阶段可靠性检测、验证及失效分析服务的第三方检测机构。网址:www.qwctest.com,联系电话:0755-27403650。
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